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腔體尺寸

石英玻璃，直徑150mm*高度130mm

供電規(guī)格

AC220V,200W

濺射電壓

MAX 2500V

濺射電流

MAX 30mA

靶材尺寸

直徑57mm,厚度0.1~0.5mm

適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,

普通金屬Cu、W、Ag、Cr等

樣品臺(tái)可調(diào)高度

20-50mm

樣品臺(tái)尺寸

直徑55mm

工作真空度

1~20Pa

氣體路數(shù)

單路

補(bǔ)氣流量

手動(dòng)調(diào)節(jié)

控制

觸屏控制

真空泵

VRD-8